디스플레이 제조 공정용 고집적, 고출력 수냉식 UV-LED 모듈 및 제어기 개발

Project description

□ 핵심기술 고집적, 고출력 수냉식 UV-LED 모듈 광원 설계 및 누수 방지 수냉 모듈 설계 기술 UV-LED 전원 공급 용 정전류 제어기 개발 □ 최종목표 디스플레이 제조 공정용 고집적, 고출력 수냉식 365nm, 385nm UV-LED 모듈 및 UV-LED 전원 제어기 개발 □ 개발내용 및 결과 디스플레이 공정 장비용 수냉식 365nm, 385nm UV-LED 모듈 개발 및 16채널 정전류 제어기 개발 - Array 확장 방식의 UV-LED 모듈 구조 설계 - 고출력, 고집적 UV-LED 모듈 개발 - 고출력 UV-LED 전원 공급 제어기 개발 □ 기술개발배경 UV-LED를 적용한 디스플레이 공정 장비는 국내 일부 장비 제조사에서 제조하고 있으나, 핵심 부품인 UV-LED 모듈은 미국이나 일본 제품을 도입하여 사용하고 있는 실정으로 기술개발을 통하여 국산화 및 시장 선점을 하고자 한다. □ 핵심기술개발의 의의 기술개발에서 개발한 UV-LED 모듈의 출력은 면 타입을 구성하면서, 기존 라인 타입의 출력 목표와 동일하게 설정한 것으로 목표를 달성하는데 상당한 어려움이 예상되었던 도전적인 목표이다. - 통상적으로 라인타입의 경우에는 렌즈를 사용하여 좁은…